微振动与环境测试系统
      随着近些年来半导体行业的飞速发展，对于微细加工技术的要求也越来越高。微电子生产设备，高精度光学仪器等高灵敏度设备，针对其工作环境（如振动，噪声，电磁以及温湿度），尤其是振动条件提出了更苛刻的要求。针对此类振动幅值小，精度要求高，工作频率低的使用环境特征，常规的通用数据采集设备无法满足其测量评估要求。上海睿深科技有限公司自主研发的SigInside-216型测试系统，立足于微振动精确测量，满足用户多物理场环境测试需求。
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SigInside 216

      SigInside 216微振动及环境测量系统可兼顾多种物理量的测量，如 微振动、电磁环境、噪声、温度、湿度信号。 

硬件参数
微振动传感器
  • 频率范围：0.1~200Hz
  • 测量范围：0.5g峰值
  • 灵敏度（±5%）：10V/g
  • 精度：0.000001 g rms


温湿度传感器

  • 无线数据传输
  • 温度范围：-40~80℃
  • 湿度范围：0~100%RH


传声器

  • 频率范围：3.75~20000Hz
  • 频响特征：自由场
  • 动态范围：137 dB


电磁传感器

  • 精度：±0.5%
  • 频率范围：DC~400Hz
  • 分辨率：0.01 毫高斯 
软件特点
  • 速度、位移、加速度多物理量评价
  • 线性、指数、1/3倍频程显示
  • 内置VC Criteria等行业通用标准 
  • 多评价曲线同时显示
  • 便捷读数
  • 频谱分析及1/3倍频程分析
  • 传递率分析
  • 速度、位移、加速度计算
  • 测试标准实时评价
  • 长时数据记录
  • 数据记录和回看
  • 噪声频谱和1/3倍频程分析 
  • 噪声声压级计算
  • 平均电磁场显示
  • 多通道温湿度实时采集
  • 温湿度同步显示
  • 长时数据记录
  • 数据记录和回看

应用案例

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