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微振动与环境测试系统
解决方案
状态监测
微振动与环境测试系统
随着近些年来半导体行业的飞速发展,对于微细加工技术的要求也越来越高。微电子生产设备,高精度光学仪器等高灵敏度设备,针对其工作环境(如振动,噪声,电磁以及温湿度),尤其是振动条件提出了更苛刻的要求。针对此类振动幅值小,精度要求高,工作频率低的使用环境特征,常规的通用数据采集设备无法满足其测量评估要求。上海睿深科技有限公司自主研发的SigInside-216型测试系统,立足于微振动精确测量,满足用户多物理场环境测试需求。
详情介绍
SigInside 216
SigInside 216微振动及环境测量系统可兼顾多种物理量的测量,如 微振动、电磁环境、噪声、温度、湿度信号。
硬件参数
微振动传感器
频率范围:0.1~200Hz
测量范围:0.5g峰值
灵敏度(±5%):10V/g
精度:0.000001 g rms
温湿度传感器
无线数据传输
温度范围:-40~80℃
湿度范围:0~100%RH
传声器
频率范围:3.75~20000Hz
频响特征:自由场
动态范围:137 dB
电磁传感器
精度:±0.5%
频率范围:DC~400Hz
分辨率:0.01 毫高斯
软件特点
速度、位移、加速度多物理量评价
线性、指数、1/3倍频程显示
内置VC Criteria等行业通用标准
多评价曲线同时显示
便捷读数
频谱分析及1/3倍频程分析
传递率分析
速度、位移、加速度计算
测试标准实时评价
长时数据记录
数据记录和回看
噪声频谱和1/3倍频程分析
噪声声压级计算
平均电磁场显示
多通道温湿度实时采集
温湿度同步显示
长时数据记录
数据记录和回看
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