微振动及环境测试
        随着近些年来半导体行业的飞速发展,对于微细加工技术的要求也越来越高。微电子生产设备,高精度光学仪器等高灵敏度设备,针对其工作环境(如振动,噪声,电磁以及温湿度),尤其是振动条件提出了更苛刻的要求。针对此类振动幅值小,精度要求高,工作频率低的使用环境特征,常规的通用数据采集设备无法满足其测量评估要求。上海睿深科技有限公司自主研发的SigInside-216型测试系统,立足于微振动精确测量,满足用户多物理场环境测试需求。